氣體質(zhì)量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表，是現(xiàn)代電子設備工藝氣體流量控制的不可少的控制單元，它的原理和應用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，大量用于電子工藝設備(如擴散、氧化、外延、CVD.等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設備、光導纖維制造中。
它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質(zhì)量流量，具有溫度、壓力囪動補償特性。
技術特點：
1、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
2、主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件，均執(zhí)行嚴格的入廠標準。
3、氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
4、可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合?！钆浜螹T-60系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
應用領域：
生務技術、制要行業(yè)；
氣體泄露檢測系統(tǒng)；
食品、化學、石化等行業(yè)氣體流量監(jiān)控；
燃料電池、環(huán)寶設備；
光纖、玻璃、表面處理設備；
LED照明、金屬加工；
精密氣體混合與分析；
大學、實驗室、研發(fā)機構(gòu)和研發(fā)設備；
半導體、太陽能、光伏制造業(yè)。
