氣體質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器是指主要適用小微流量（從0.000001m3/小時到300m3/小時，對應(yīng)管徑從直徑3mm到65mm）氣體測量和控制的傳感器和自動化設(shè)備。按原理分類主要有兩種：1、層流壓差原理的氣體質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器；2、熱式原理的氣體質(zhì)量流量計與氣體質(zhì)量流量控制器。

層流壓差原理圖

層流壓差原理的質(zhì)量流量計和流量控制器，因其原理特點，只需檢測到氣體壓差、壓力和溫度，即可測控氣體流量。易度自主設(shè)計的傳感器可檢測到極微小流量下產(chǎn)生的壓力、壓差，因此易度質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器可測控極微小氣體流量，標(biāo)準(zhǔn)型最小測控量程0.5sccm（更小量程可定制）。那么0.5sccm是個什么概念？

易度層流壓差流量計

0.5sccm是標(biāo)準(zhǔn)狀況下0.5ml/min（毫升每分鐘），

也就是500uL/min（微升每分鐘），

按正常量程比：100:1來算，其實際測控范圍是5uL/min~500uL/min，

最小測控流量5uL/min是什么概念?

83nL/s（納升每分鐘）。這個流量有多小？

舉例來說：一瓶礦泉水通常容積為550mL，如果給礦泉水空瓶充滿氣體到標(biāo)況溫度和壓力下，大約需要110000分鐘，1833個小時，76天。

易度極微小層流質(zhì)量流量計和流量控制器滿足極微小流量測控需求，非常適合在泄漏測試、氣密性測試、微通道反應(yīng)系統(tǒng)等行業(yè)場景下使用。

泄漏測試-醫(yī)藥行業(yè)包裝

氣密性測試-燃料電池電堆

氣密型測試設(shè)備    

 微通道反應(yīng)系統(tǒng)